半導(dǎo)體工業(yè)電子超純水設(shè)備設(shè)計(jì)方案
規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，
線寬越窄，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí)，分別為
18Mù.cm、15Mù.cm、10Mù.cm、2Mù.cm、0.5Mù.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
2.電子工業(yè)超純水設(shè)備特點(diǎn)
電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理
系統(tǒng)、RO 反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI 電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間
水箱、RO 純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水
質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC 可編程控制器實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備，真正做到了無人值守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶
要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
3.電子工業(yè)超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;
3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
工業(yè)電子超純水設(shè)備工藝流程說明：
1、 第一級(jí)預(yù)處理系統(tǒng)：采用石英砂多介質(zhì)過濾器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、
懸浮物等顆粒在20 m以上對(duì)人體有害的物質(zhì)，系統(tǒng)可以自動(dòng)(手動(dòng))進(jìn)行反沖洗，正沖洗等一系列
操作。
2、 第二級(jí)預(yù)處理系統(tǒng)：采用果殼活性碳過濾器，目的是為了去除水中的色素、異味、生化有機(jī)物、降低
水的余氯值及農(nóng)藥污染和其他對(duì)人體有害的污染物。系統(tǒng)可以自動(dòng)(手動(dòng))進(jìn)行反沖洗，正沖洗等一
系列操作。
3、 第三級(jí)預(yù)處理系統(tǒng)：采用陽(yáng)樹脂對(duì)水進(jìn)行軟化，主要是降低水的硬度，去除水中的鈣、鎂離子(形成
水垢的主要成分)，可有效延長(zhǎng)反滲透膜的使用壽命，并可進(jìn)行智能化樹脂再生。
4、 第四級(jí)預(yù)處理系統(tǒng)：采用5um 孔徑精密過濾器，使水得到進(jìn)一步的凈化，使水的濁度和色度達(dá)到優(yōu)
化。保證RO 系統(tǒng)進(jìn)水條件要求，保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。
5、 反滲透(超濾)設(shè)備主機(jī)：采用反滲透(超濾)技術(shù)進(jìn)行深度脫鹽處理(進(jìn)口美國(guó)反滲透膜)去除鈣、
鎂、鉛、汞等對(duì)人體有害的重金屬物質(zhì)及其他雜質(zhì)，降低水的硬度，脫鹽率達(dá)99%以上，生產(chǎn)出符合
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的純凈水。
6、 微過濾裝置：安裝該裝置主要是為防止微粒樹脂顆粒從布水中濾出實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備，造成二次水質(zhì)污染，這主要是運(yùn)
用在對(duì)水質(zhì)特別高的場(chǎng)合。
殺菌系統(tǒng)：采用臭氧發(fā)生器(或紫外線殺菌器)，減少細(xì)菌二次污染，滅菌率可達(dá)99%以上，同時(shí)臭氧溶
于水形成富氧水，保證水的純鮮。采用水氣混合器使臭氧充分與水混合，達(dá)到最佳濃度比。
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